數(shù)控龍門(mén)復(fù)合半導(dǎo)體專用磨床400HV
a 本機(jī)是一臥一立雙立柱龍門(mén)復(fù)合磨床,專業(yè)用于6吋、8吋、12吋碳化硅的外圓,6吋(部分)、8吋、12吋碳化硅Notch缺口(帶定向功能)的磨削加工。
b 適用電源:三相380±10%V0±1%Hz,氣源5-8bar。
c 環(huán)境溫度:5-35℃;相對(duì)濕度≤70%。
d 機(jī)床工作狀態(tài)噪聲:≤75DB(A)。
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)功能:
1、機(jī)械結(jié)構(gòu):
1)立式磨床主運(yùn)動(dòng)包括轉(zhuǎn)臺(tái)主軸的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),滑鞍的左右橫向運(yùn)動(dòng)(X1/X2軸),砂輪滑枕的上下縱向運(yùn)動(dòng)(Z1/Z2軸)。
2)本機(jī)砂輪主軸為立式雙軸布置:一軸負(fù)責(zé)零件外圓的加工;另一軸負(fù)責(zé)零件內(nèi)圓(內(nèi)環(huán))的磨削。
3)床身為龍門(mén)形一體式結(jié)構(gòu),HT300鑄鐵材質(zhì),經(jīng)二次高溫?zé)釙r(shí)效處理,可長(zhǎng)期保持性質(zhì)穩(wěn)定、不變形。
4)剛性優(yōu)異的龍門(mén)磨削平臺(tái),雙軸砂輪結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)零件一次裝夾,粗、精磨或多道工序一起完成,確保零件形位公差優(yōu)于使用要求。
5)X1/X2/Z1/Z2軸均使用高精度機(jī)床專用、超高剛性的SRG滾柱線軌,以及高精度、小導(dǎo)程滾珠絲桿,通過(guò)鐳射檢驗(yàn)校正精度,具有運(yùn)行平穩(wěn)、響應(yīng)迅速、定位準(zhǔn)確之特性。
6)X和Z軸使用“伺服電機(jī)+雙膜片無(wú)隙聯(lián)軸器+滾珠絲桿”驅(qū)動(dòng)方式,經(jīng)鐳射檢驗(yàn)補(bǔ)償四軸進(jìn)給精度及背隙,達(dá)到微量進(jìn)給的需要。
7)機(jī)床潤(rùn)滑系統(tǒng)采用定點(diǎn)、定量供油方式,潤(rùn)滑油箱帶壓力和液面檢測(cè),系統(tǒng)報(bào)警提示,確保機(jī)床直線導(dǎo)軌和滾珠絲杠不失油。
8)機(jī)床可配置專用夾具(如:真空吸盤(pán)模塊需客戶自備),具有裝夾便捷、調(diào)節(jié)靈活、操作安全的特點(diǎn),對(duì)零件規(guī)格的適應(yīng)性強(qiáng)。
9)砂輪自動(dòng)修整:具有電動(dòng)鉆石砂輪修整器;根據(jù)工藝需求自動(dòng)修整砂輪。